對(duì)于管理基板整面上的有害物質(zhì)，以及針對(duì)微小部位的測(cè)定等以前的裝置對(duì)應(yīng)比較困難的要求，EA6000VX X射線熒光光譜儀都能做到。
EA1000AIII X射線熒光光譜儀通過將可選項(xiàng)的精度管理型軟件進(jìn)一步升級(jí),并使之成為標(biāo)準(zhǔn)配備，實(shí)現(xiàn)了低價(jià)格化。
EA1000VX X射線熒光光譜儀是對(duì)應(yīng)環(huán)境限制物質(zhì)管理、可快速且簡(jiǎn)單測(cè)量有害物質(zhì)的X射線熒光分析儀。
賽黙飛世爾量色散X熒光光譜儀（原美國(guó)熱電）（ED XRF） 窗超高通量RH靶，76um鈹窗，空氣冷卻的大面積高厚度硅鋰Si（Li）檢測(cè)器，全數(shù)字化譜分析器 32bit 4096通道，高穩(wěn)定性：RSD0.3% 8小時(shí)，檢測(cè)元素：F~U
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